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세계 최고 수준의 대한민국 반도체 생산에 아이산의 제품이 기여 합니다.
우리가 제조한 진공밸브는 현재 까지 반도체 제조 라인에 최소 15,000개 이상 납품 되었습니다.

반도체 장비에 적용되는 기계 부품의 경우 타 산업군에 비해 엄격한 품질 관리를 요합니다.
우리는 특별히 완벽한 기밀 과 청정도 부문의 높은 수준을 만족시키기 위하여
최선의 노력을 다합니다.

아이산의 고 진공 밸브는 반도체 부문에 특화된 제품 군을 보유 하고 있습니다.

반도체 생산 공정에 적합한 당사의 고온에 최적화 된 제품과 내식성 을 갖춘 제품을 확인 하세요.
예상치 못한 개폐로 인한 사고를 막기 위한 안전 장치가 되어 있는 제품과, 개폐의 정도를
육안으로 확인 할 수있는 제품도 준비 되어 있습니다.

다량의 파티클이 유입 되어 발생되는 Early fail 관련 하여 연계 되는 부품과 동작 부위에 대한
수명 증대 및 누설 방지 솔루션을 고객 분 들께 제공 합니다.

당사의 유관 제품은 양산 설비 적용 레퍼런스가 다수 존재 하며 기존 반도체 제조 설비에 적용된
타사의 진공 밸브나, 자성유체씰의 대체 개발 활동을 활발히 전개 하고 있습니다.

파트 넘버와 간략한 사용 환경 확인 만으로도
기성 적용 제품 보다 더욱 진보 및 최적화 된 제품을 개발 및 보다 저렴하고 신속한 납기를
고객 분 들께 제안 합니다.

OPERATION MANUAL

VLF*M-***KF Series

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